공기밀도표 

크린룸 내부 온도 : 4℃

          내부 압력 : 대기압 + 10pa = 101335pa

          크기        : 가로 5M , 세로 5M, 높이 3M (부피 75㎥ , 바닥면적 25㎡)

   내부 공기 밀도 : 2.522 kg/㎥ (위 밀도표에서 5℃, 1bar 기준으로 잡아봤습니다.)

크린룸 급기량     : 10CMM

틈새공기량         : 0 CMM

대기압 상태일때 크린룸 내부 공기의 양 : 75㎥ x 2.522 kg/㎥ = 181.15kg 

181.15 * 9.81(중력가속도) / 25(바닥면적) = 71.225 Pa 

크린룸 내부를 밀폐계로 보았을경우 크린룸 내부엔 71.225pa 의 압력이 걸려있고,

내부 압력을 +10 Pa 해주어야 되니까...

공기량 * 9.81 / 25 = 81.225 가 되어야 되니까..

81.225 * 25 / 9.81 = 206.9954 kg 의 공기가 있어야 되네요..

206.9954kg / 2.522 kg/㎥ = 82.0759 ㎥ 의 공기가 크린룸 내부에 있게되면 대기압 + 1mmAq 의 압력이 걸리는데요

대기압 상태의 공기에서 82.0759㎥ - 75㎥ = 7.76㎥  만큼의 공기가 더 있어야되네요

급기량 10㎥/min, 압력상승에 필요한 공기량은 7.076 ㎥ 이므로

배기량은 2.924 CMM 으로 1분간 가동후 10CMM 으로 배기하게 되면

크린룸 내부 압력은 대기압 + 1mmAq 가 되겠네요~

틈새공기량 0, 압력과 온도에 따른 공기의 밀도와, 크린룸 크기를 다 제 마음대로 정했으니... 위 식을 참고하시면

공기를 비압축성 유체 라고 가정한 상태에서는 압력이 1mmAq 가 오를테지만요...

공기는 압축성 유체이며, 틈새공기량이 0이 될 수 없기에

급기덕트와 환기덕트의 풍량을 측정하여 급기, 배기량이 결정되며(급기량 > 배기량)
크린룸 내부 압력계를 설치하여 압력보정으로 배기량을 조절하시면 되겠네요

* 참고로 위 계산은.. 공식따위 전혀 쓰지 않고, 주어진 값의 단위를 이용한 단위계산으로 계산하였으니..

틀릴 답일 가능성이 상당히 높습니다 'ㅅ'a 

 설비설계일을 하고있지만 크린룸은 그냥 전문업체에 의뢰하면 알아서 해주는지라..;;;