日 정부, 불화수소 수출조건 내세워 삼성전자 첨단공정 자료요구

오르카네 작성일 19.08.26 17:35:05
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◆日 "불화수소 허가 삼성·하이닉스 공정도·배치도 있어야"

산업통상자원부 산하 전략물자관리원 측은 "일본 경제산성성이 고순도 불화수소 관련 개별허가 신청 업체들에게 화물 수요자의 당해 화물 조달실적 및 최종 제품의 생산상황에 관한 자료를 워드, PDF 파일 등의 형태로 요구했다"고 전했다.

또한 해당 화물을 사용하는 공장의 최종 제품 제조공정에 관한 자료도 요구했다. 이같은 제출 서류들은 수출규제 소재 3종 중 EUV 포토레지스트와 불화 폴리이미드에는 없는 제출자료 목록이다.

일본 정부는 지난달 4일부터 한국에 수출되는 이들 품목에 대해 종전 포괄허가에서 개별허가 체제로 전환했다. 독특한 점은 이 개별허가를 얻기 위한 조건이 전략물자 수출우대국(백색국가)가 아닌 제3국에 대한 기존 개별허가들과도 그 내용이 전혀 다르다는 점이다.

다만 유독 고순도 불화수소에 대해 일본 정부가 제조공정에 관한 자료들을 요구하고 있다. 전략물자관리원이 번역한 일본 정부의 수출규제 안내문에 따르면 일본 정부는 고순도 불화수소 생산업체들에게 "플랜트의 최종제품 제조 플로우에 관한 자료"를 요구하고 있다. 보다 구체적으로 제조공정을 나타낸 블록 다이어그램(도표), 제조공정도 설명서 등이다.

여기에 덧붙여 "블록 다이어그램 등 그림으로 나타내는 경우 해당 화물을 사용하는 곳 및 해당 화물의 수량을 알 수 있도록 주석을 붙일 것"이라고 언급했다. 또한 "해당 화물의 수량을 확인할 수 있는 기술자료"를 제출할 것을 언급하고 있다. 세부적인 예로 배관 계통도, 배치도 등을 들고 있는데 고순도 불화수소 사용 공정의 상세정보를 넘겨달라는 것과 다름 없다는 해석이 나온다.

산업연구원 신산업실 장석인 선임연구원은 "고순도 불화수소는 EUV포토레지스트보다 전공정(반도체 회로제작 공정) 여러 분야에 사용된다"며 "삼성의 차세대 시스템 반도체 등 핵심 공정의 모든 기술내용을 달라는 것이나 마찬가지"라고 지적했다.

https://news.v.daum.net/v/20190826162847669

이새끼들 진짜 미친거아님?

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